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差壓式氣體質(zhì)量流量計

簡要描述:差壓式氣體質(zhì)量流量計5910DD4用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。它們在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。

  • 產(chǎn)品型號:5910DD4
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2025-05-28
  • 訪  問  量:2007

詳細介紹

品牌GRYLLS/格里爾斯價格區(qū)間面議
產(chǎn)品種類差壓式介質(zhì)分類液體
產(chǎn)地類別國產(chǎn)應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,化工,能源,電子/電池

差壓式氣體質(zhì)量流量計5910DD4用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。它們在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。

其典型的應(yīng)用場合包括:電子工藝設(shè)備,如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入;以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器

黑龍江差壓式氣體質(zhì)量流量計5910DD4產(chǎn)品參數(shù):

量程范圍

0.2~5kg/h

測控范圍

流量計量程比100:1     控制器量程比50:1

準(zhǔn)確度(滿量程)

氣體:±0.5.0%F.S、液體±0.25.0%F.S

穩(wěn)定性

±0.1%F.S

重復(fù)精度

±0.05%F.S

響應(yīng)時間

<0.2s

數(shù)字量

RS232/485,MODBUS協(xié)議

模擬量

0~5V、4-20mA、1~5V

供電

±15VDC,24VDC

工作溫度

0~70℃

壓力等級

100bar

最大耐壓

3MPa/10MPa




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